「LEEPL技術コンソーシアム」にクラリアントが新規に入会
株式会社東京精密（代表取締役会長Ｃ.Ｅ.Ｏ.大坪英夫）が、子会社の株式会社リープル、ソニー株式会社とともに発足させた「ＬＥＥＰＬ技術コンソーシアム」に、新たにクラリアントジャパン株式会社が入会、会員数が３１社となった。
- クラリアントジャパン入会の意義
クラリアントジャパンはスイスに本拠を置く国際的な化学会社です。ＥＢレジストの開発を通して、ＬＥＥＰＬ技術普及への貢献が期待されている。
- LEEPL技術コンソーシアム
- ２００１年6月１４日に、次世代リソグラフィ技術の開発促進、ならびに普及を目的に、半導体デバイスメーカー、装置メーカー、マスクメーカー、レジストメーカーの各業界から１３社が参画しスタート。現在の加入会員は、今回入会のクラリアントジャパンを含め３１社にのぼる。
会員は、ソニー、ＮＥＣエレクトロニクス、ローム、Texas Instruments、松下電器産業、シャープ、ルネサステクノロジ、セイコーエプソン、三菱電機、東芝、ＵＭＣ、三洋電機、Taiwan Semiconductor Manufacturing、NTTアドバンステクノロジ、大日本印刷、凸版印刷、HOYA、東京応化工業、ＪＳＲ、富士フイルムアーチ、信越化学工業、シプレイ・ファーイースト、クラリアントジャパン、ニューフレアテクノロジー、セイコーインスツルメンツ、日本コントロールシステム、ライカマイクロシステムズ、NaWoTec、日本電子、リープル、東京精密である。
- ＬＥＥＰＬリソグラフィプロセス確立のためのインフラ技術の開発共有基盤として発足以来、活発な議論を経て着実な進展を見せている。β-Ｉ号機による装置の基本性能の評価、並びにβ-ＩＩ号機による評価ラボを通してのプロセス確立が進んでいる。量産Ｉ号機も完成、最終評価段階にある。
- 今年７月３１日に開催した「LEEPL技術フォーラム」では、実用化に向けたマスクを始めとするインフラ技術の進展もさることながら、デバイス各社における導入モデルの発表が大きな反響を呼んだ。ＬＥＥＰＬプロセス向けのＥＢレジストの開発も会員各社の開発が急速に加速している。クラリアントジャパンでも、実用化が期待され、次世代リソグラフィ技術としてのＬＥＥＰＬ向けレジスト開発に取り組み始めた。
- 本会の中核会員でもある東京精密およびリープル両社が主催する、ＬＥＥＰＬ転写装置とマスク検査装置の最新情報を、今週幕張メッセで開催されるセミコンジャパン初日に幕張プリンスホテルで開催する。
- ２００１年6月１４日に、次世代リソグラフィ技術の開発促進、ならびに普及を目的に、半導体デバイスメーカー、装置メーカー、マスクメーカー、レジストメーカーの各業界から１３社が参画しスタート。現在の加入会員は、今回入会のクラリアントジャパンを含め３１社にのぼる。
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