株式会社東京精密（代表取締役会長C.E.O.：大坪英夫）は、駆動部に初めてリニアモータを 採用し（特許出願中）、世界最高レベルの測定スピードと低振動を実現した表面粗さ形状測定機 「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」の販売を開始します。

「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」に採用したリニアモータは、非接触駆動・シンプル構造（送りねじ・ギヤボックスレス）であるため、振動の発生も少なく、長期間にわたって安定した動作を実現します。さらに、移動速度が６０ｍｍ／秒と非常に速いため、測定効率は当社従来機種に比べ ５倍から１０倍高まりました。

また「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」は、高倍率・広範囲測定に対応したコンパクトな新開発検出器の搭載により、測定範囲１０００μｍ、測定倍率５０万倍を可能にし、フットスペースも従来機種比２５％削減しております。

「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」は二次元粗さ計ですが、三次元粗さ計「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ ‐３DF」や輪郭形状測定との複合機へのアップグレードは、ユニットを追加するだけで容易に 可能であり、優れた拡張性を有しています。

東京精密独自の測定機が測定条件を自動選択するＡＩ機能や、複数箇所の測定から 検査成績書作成まで、一連の作業を全自動で行うティーチング機能も備えています。

「ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ」は、お客様の様々なご要望におこたえする東京精密の画期的な 最新鋭表面粗さ形状測定機です。

表面粗さ形状測定機ＳＵＲＦＣＯＭ　１５００ＤＸ

主な仕様

• 測定範囲
  • X軸（横方向）100ｍｍ／0.04μｍあるいは32,000ポイント／分解能
  • Z軸（縦方向）1000μｍ／0.02μｍ～6.4μｍ／0.0001μｍ
• 真直度精度
  • 0.05＋1.0Ｌ／1.000μｍ　Ｌ＝測定長さ（ｍｍ）
• 測定精度
  • 0.03～3ｍｍ／秒（粗さ）
  • 0.03～20ｍｍ／秒（うねり）
• 移動速度
  • （Ｚ軸）～10ｍｍ／秒
  • （Ｘ軸）～60ｍｍ／秒