2002年

2002年12月20日

• 自動計測機器部門の営業譲渡に関するお知らせ (PDF：27KB)

2002年11月25日

• 浜松ホトニクスと東京精密が半導体製造装置分野で業務提携　新型レーザダイシング装置「MAHOHDICING MACHINE」を共同開発「SEMICON Japan 2002」に参考出展

2002年10月21日

• 「東精精密設備（上海）有限公司」の設立と営業開始について

2002年10月03日

• 「LEEPL技術コンソーシアム」に新たに２社が加入

2002年07月02日

• 東京精密と日立ハイテクノロジーズが次世代ウエーハ外観検査装置を共同開発　９０nmノードプロセス以降に対応した「ＨＡ-３０００」を共同開発、販売を開始

2002年06月21日

• 10 BEST賞（VLSI リサーチ社）初の２部門受賞

2002年05月24日

• 「LEEPL技術コンソーシアム」に新たに２社が加入

2002年04月23日

• 「LEEPL転写装置」のβ機を出荷

2002年04月10日

• 「LEEPL技術コンソーシアム」に新たに５社が加入

2002年03月26日

• 東京精密、八王子・土浦両工場通常勤務体制へ ～需要回復傾向と判断～

2002年03月12日

• 代表取締役の異動について (PDF：63KB)

2002年03月01日

• カンパニー制導入と本社の廃止

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