製品一覧
- ミニアックスシリーズ
- 高速応答性、高剛性の実現が時可能です。
- 高精度ウェーハ厚さ測定専用システム
- 0.1μm読みの高精度デジタル測長器ミニアックスを組み込んだ専用システムです。
- エアサーボ式ウェーハ厚さ測定専用システム
- エア浮上式サーボノズル採用による非接触測定システムです。
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