特長

特長 1

東京精密とカールツァイスの技術を融合
ザイザックスと世界唯一のアクティブスキャニングがドッキング。測定プログラムCalypsoは、AI機能(東京精密の国際特許)搭載。スキャニング測定が簡単に誰にでも操作可能です。

特長 2

VASTヘッドはACTIVEスキャニング
一定の測定力をコントロールしながら常に法線方向(面に垂直)に測定圧をかけていくというカールツァイスのみが実現させた技術・・
それがアクティブスキャニングテクノロジーです。

特長 3

スキャニング精度の新JIS規格に対応 (JIS B 7440-2 2003)測定精度MPEE=1.9+4L/1000μmを保証。
実力値は、下記データ参照。スキャニング精度MPETHP=2.8μmを保証。
また多彩なワーク測定に対応するために、国内で初めてスタイラス長さ300mmでMPETHP=5.8μmを保証。