特長

特長 1各種のウェーハサイズに対応

φ3、φ4、φ5、φ6、φ12、ウェーハの厚さ測定ができます。

特長 2ピン差し換えだけの簡単な操作

ウェーハサイズの切替えは、ストッパピンの位置を変えるだけの簡単な作業です。

特長 3最小分解能0．1μmの高精度モアレスケールを使用

繰返し精度0．2μm、累積指示誤差±0．15μmの高精度測定ができます。

特長 4

リフトレバーには、プリントアウト指令のスイッチを内臓しており、測定と同時にデータをプリントアウトすることができます。