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レーザ干渉測長器/機器組込み対象製品

キャディコム

導体、半導体の変位を非接触で検出できます。

特長

特長 1

導体、半導体を測定対象とした非接触測定機です。

特長 2

非接触のため測定対象物に負荷をかけず、振動モードや回転に対して全く影響を与えません。

特長 3

測定距離に応じて3種類のセンサヘッドをラインナップしています。

特長 4

独自のリニアライズ回路で直線性を向上させました。

特長 5

主な測定項目には軸の振動、面の振動、板厚さ、たわみ、そり・平行度測定などがあります。

カタログダウンロード

詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。

キャディコム カタログ(PDF:327KB)

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