エアサーボ式ウェーハ厚さ測定専用システム
エア浮上式サーボノズル採用による非接触測定システムです。
特長
特長 1
エア浮上による非接触測定。
特長 2
長変位、高分解能の測定が可能。
特長 3
材質、色による影響を受けない。
特長 4
フィルム、ゴム、発泡シートの測定に最適。
カタログダウンロード
詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。
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